热式气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。其传感器由两个基准级热电阻(RTD)组成，一个是速度传感器RH，一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。根据热效应的金氏定律，加热功率P、温度差△T（TRH-TRMG）与质量流量Q有确定的数学关系式。P/△T=K1+K2 f(Q)K3，其中K1、K2、K3是与气体物理性质有关的常数。当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。

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